一种镧系金属催化剂
2022-07-07
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本发明公开了一种镧系金属催化剂,组分以重量份计,包括3~20份的La、4~8份的Ce、1~6份的Yb、0~5份的Gd、0~3份的Lu、0~3份的Tb,将所有组分在真空状态下熔炼为一体形成镧系金属催化剂。本发明作用于靶材上,通过与靶材基质进行熔合,催化剂中镧系金属的原子进入靶材基质金属的晶格内引起较大的晶格畸变,产生畸变能,使系统能量增加,稀土原子只能向高能量的晶界富集,使系统保持最低的自由能,从而增加靶材的导电性能,降低靶材的电阻值,增强靶材的附着力,在ITO靶材以及铜银合金靶材中加入超过0.1WT%的镧系金属催化剂,靶材的导电性能可提高10‑15%。