烧结稀土永磁体的制造方法
2022-07-07
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一种烧结稀土永磁体的制造方法,包括:制备钕铁硼磁片;使用RxTy材料制备靶材,R为Nd、Pr、Dy、Tb、Ho、Er、Tm中的一种或多种,T为过渡族元素、Al、Ga中的一种或多种,x和y是重量百分含量,0<x≤1,0≤y<1;将磁片装载到连续多弧离子镀镀膜炉中,其中,镀膜炉包括第一炉门和第二炉门,每个炉门具有挂料架,将磁片装载在第一炉门的挂料架上,然后关闭第一炉门进行后续步骤,在进行后续步骤的同时将磁片装载在第二炉门的挂料架上;将镀膜炉内部抽真空,然后通入保护气体;对磁片进行预热;接通弧光电源,在镀膜炉的引弧钩与靶材之间产生弧光放电,从而对磁片进行镀膜;对磁片进行第一级和第二级保温处理。