一种纳米多孔金属薄膜的制备方法
2022-07-07
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本发明提供了一种纳米多孔金属薄膜的制备方法。该方法采用去合金法,以Mg基非晶合金薄板(片)或薄带作为前驱体,通过控制酸溶液温度和/或酸的浓度,使前驱体表面一定厚度的薄层中的镁、稀土以及其它相对活泼的金属原子优先与氢离子反应变成离子进入溶液,形成目标金属原子构成的纳米多孔金属层;在该纳米多孔金属层的阻隔下,反应潜热的积聚使得纳米多孔金属层以下的非晶合金的温度达到其玻璃态温度,从而使纳米多孔金属层可以在反应产生气体的作用下从玻璃态前驱体剥离,得到纳米多孔金属薄膜。该方法工艺简单,制得的多孔金属薄膜厚度薄、比表面积大、易于微器件集成等,因此在膜器件,微能源器件以及微光电器件领域具有应用前景。