一种精密加工用化学机械抛光液

本发明涉及一种精密加工用化学机械抛光液，属于精密加工技术领域。本发明先将碳酸铈湿磨成浆料，并溶解在柠檬酸、顺丁烯二酸、草酸、丙二酸、盐酸复配而成的多元酸溶液中，再加入硅酸钠溶液形成复合硅溶胶母液，随后加入结晶硅，在氨水的催化作用下，与稀土沉淀物生长至硅溶胶的表面，填补硅溶胶颗粒表面缺陷，使硅溶胶颗粒形貌成圆润球形，经喷雾干燥后置于管式炉中煅烧，得到复合硅抛光粉，最后将其加入脂肪醇聚氧乙烯醚、乙醇、双氧水配置的辅助氧化剂溶液中超声分散，制得精密加工用化学机械抛光液。本发明制备的精密加工用化学机械抛光液具有较高的材料去除率，抛光后可获得优异的表面形貌。