半导体应用上之稀土氧化物系抗腐蚀涂层

2022-07-07 2260 4347K 0

一种物件包括涂布有陶瓷涂层的主体该陶瓷涂层可以包括范围在约45莫耳%至约99莫耳%之间的Y2O3、范围在约0莫耳%至约55莫耳%之间的ZrO2、及范围在约0莫耳%至约10莫耳%之间的Al2O3或者该陶瓷涂层可以包括范围在约30莫耳%至约60莫耳%之间的Y2O3、范围在约0莫耳%至约20莫耳%之间的ZrO2、及范围在约30莫耳%至约60莫耳%之间的Al2O3

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