高纯稀土氧化物中痕量/超痕量杂质定量测量方法

本发明提供一种高纯稀土氧化物中痕量/超痕量杂质测量方法。包括：制备导电辅助装置；将装载了稀土氧化物样品的高纯铜柱体置于GDMS中进行检测，溅射；采用粉末掺杂法制备铜基校正样品；GDMS对制备得到的铜基校正样品进行分析，得到相对灵敏度因子RSF，根据相对灵敏度因子及GDMS检测得到的数据，按照公式(2)，计算得到稀土氧化物样品中杂质的含量。GDMS为固体直接测量方法，因此相对于目前常用的湿法避免了复杂的样品处理过程，大大提高了分析效率，而且可以避免在消解过程中的元素损失与污染；可同时检测73种元素，且检出限低，对于大部分元素，其定量检出限(LoQ)在ng/g量级，满足痕量/超痕量杂质的准确测量。