一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用

2022-06-02 4420 510K 0
本发明公开了一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用,涉及合金靶材技术领域。该制备方法包括:包括:采用逐层沉积的方式,每层沉积的过程中均包括同时进行的固态金属沉积和搅拌摩擦焊;其中,固态金属沉积是将合金粉末沉积于背板或上一层沉积体上,搅拌摩擦焊是在固态金属沉积得到的沉积体上进行搅拌;其中,按重量百分比计,合金粉末包括以下组分:RE 0.002‑0.05%、Ni 3‑10%,余量为Cu及不可避免的杂质。能够有效提高材料的利用率;材料不发生氧化、分解,可使靶材完整保留原材料组分;靶材致密、晶粒小、组织均匀、气体含量低、焊接处界面的结合率高,能够显著提高靶材的性能。


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