稀土类薄膜磁铁及其制造方法

2022-06-06 4280 1915K 0

一种稀土类薄膜磁铁，以Nd、Fe、B为必要成分，其特徵在於：於在表面存在氧化膜之Si基板上具备Nd基底膜作为第1层，於前述第1层上具备Nd-Fe-B膜作为第2层目的在於提供一种即便为相当於化学计量组成附近之组成范围之0.120≦Nd/(Nd+Fe)< 0.150的组成范围，亦不会发生膜之剥离或基板之破坏，具有良好之磁特性之稀土类薄膜磁铁及其制造方法

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