耐电浆涂膜及其形成方法

本发明涉及一种耐等离子体镀膜及其制造方法， 更具体地说，本发明涉及一种耐等离子体涂膜及其制造方法，该涂膜可通过以下方式确保耐化学性： 在热喷涂第一稀土金属化合物之后，通过气溶胶沉积和水合双重密封，从而通过致密的稀土金属化合物涂膜使涂层中的开放通道和开放孔隙最小化，并使耐等离子体腐蚀性最小化。