镧系钨离子源及光束线组件

本發明提供一種離子植入系統，其具有一或多個導電組件，該等組件由鑭系鎢以及與預定百分比的稀土金屬形成合金的耐火金屬之一或多者構成。導電組件可為離子源的組件，諸如陰極、陰極遮蔽、斥拒極、襯裡、孔徑板、電弧腔室本體及撞擊板之一或多者。孔徑板可與提取孔、抑制孔及接地孔之一或多者相關聯