稀土金属旋转靶材的制造方法

本发明公开了一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。本发明可以大幅提高稀土金属在钕铁硼镀膜渗Dy、Dy/Tb或者Tb工艺中的利用率，降低生产成本，提高钕铁硼矫顽力。