基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料及其传感器制备方法和应用
2022-06-06
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基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料及其传感器制备方法和应用,本发明属于传感器领域,它为了解决现有紫外光电探测器的响应速度较慢,未有同时兼具自驱动紫外光电传感器和位敏传感器材料器件的问题。该基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料具有p‑n结结构,在n型铌掺杂钛酸锶基片上采用激光脉冲沉积有厚度为5~20nm的p型镍酸盐氧化物层,其中的镍酸盐氧化物为镍酸钕、镍酸钐或镍酸钆。在该异质结表面镀有金电极制备传感器,此传感器能够应用于自驱动紫外光电探测器和位敏传感器中。本发明利用Nb : SrTiO3半导体仅在紫外/近紫外光区响应的特点,其探测范围接近日盲区范围,且光电响应速度快。