一种用于重稀土晶界扩渗的生产线及生产方法

2022-06-06 4690 946K 0
本发明提供一种用于重稀土晶界扩渗的生产线,包括控制单元和与控制单元连接的物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构、真空扩渗炉和控制单元;物料传输系统包括第一传输组件、第二传输组件、第三传输组件和第四传输组件;单片成型压机出料口通过第一传输组件与烧结机构进料口连接,烧结机构出料口通过第二传输组件与清洗机构进料口连接,清洗机构出料口通过第三传输组件与镀膜机构进料口连接,镀膜机构进料口通过第四传输组件与真空扩渗炉进料口连接;单片成型压机向烧结机构逐一提供基片,烧结机构烧结基片;清洗机构清洗基片;镀膜机构对基片表面溅射重稀土,形成重稀土层;真空扩渗炉对基片热处理,实现重稀土扩渗。


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