稀土金属靶材的制造方法

本发明公开了一种稀土金属靶材的制造方法，包括：准备稀土金属板坯，将成型板坯装入模具，放入真空热压烧结炉中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯；热压温度为700～1500℃，成型压力10～30MPa，保温保压1～2小时；对成型的稀土金属靶材毛坯进行表面磨抛及外形加工，得到稀土金属靶材。本发明获得的稀土金属靶材成品率高，易于规模化生产。