磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法
2022-06-06
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磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法,属于稀土难熔金属阴极材料技术领域。钼基体中掺杂稀土活性物质La2O3,稀土活性物质添加总量为2.0‑5.0wt%,其余为钼。采用液液掺杂的溶胶凝胶法制备La2O3掺杂MoO3粉末,氧化物粉末经过还原、压型、烧结工艺制备出La2O3掺杂Mo棒。钼棒经旋煅、拉拔、退火、洗丝、绕制、定型、裁断工艺得到未碳化磁控管用La2O3掺杂Mo阴极。对阴极进行高温瞬时碳化工艺处理,得到高碳化度的磁控管用La2O3掺杂Mo丝状阴极材料。对阴极进行高温激活排气及老化处理工艺,得到具有良好发射性能及良好发射稳定性的新型环保无放射性的磁控管用丝状阴极材料。