具有掺杂压电层的体声波谐振器

本发明涉及具有掺杂压电层的体声波谐振器。根据代表性实施例，一种体声波BAW谐振器包括：具有第一电极厚度的第一电极；具有第二电极厚度的第二电极；以及具有压电层厚度且安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层，所述压电层包括掺杂有至少一种稀土元素的压电材料。对于所述BAW谐振器的特定声耦合系数(kt2)值和串联谐振频率(Fs)来说，所述第一电极厚度和所述第二电极厚度各自大于包括未掺杂压电层的BAW谐振器的第一电极的厚度和第二电极的厚度。