一种镀膜系统及镀膜方法及稀土磁体的制备方法

本发明公开了一种镀膜系统，包括进料室、镀膜区、出料室、传送装置、真空加热系统，传送转置包括支架和传送系统，传送系统依次穿过进料室、镀膜区、出料室和真空加热系统。本发明的镀膜系统，能实现连续生产，因此提高了生产效率，本发明还公开了一种镀膜方法，包括步骤：A、将磁体排列支架上；B、离子活化处理；C、镀膜，D、冷却；E、高温扩散以及时效处理。本发明的镀膜方法磁控溅射的速率恒定，沉积得到的重稀土层的厚度可精确控制，实现重稀土元素的高效率利用，本发明还公开了一种稀土磁体的制备方法，包括以下工序：A、镀膜工序，B、晶界扩散处理的工序，本发明能在保证磁体剩磁几乎不变的情况下，大大提高磁体矫顽力。