一种等离子物理气相沉积用稀土氧化物掺杂锆酸钆粉末及其制备方法

本发明公开了一种等离子物理气相沉积用稀土氧化物掺杂锆酸钆粉末及其制备方法，涉及锆酸钆陶瓷材料加工技术领域。将钆盐、锆盐，以及镱盐或钪盐中的一种，按照(0.3～0.9)∶1∶(0.1～0.7)的摩尔比例混合均匀，加入去离子水得到混合溶液，然后进行单相沉淀处理，过滤、干燥后得到固体产物；对固体产物先后进行湿法球磨和干法球磨，对球磨产物进行过滤并烘干，烘干后与去离子水、粘结剂以及分散剂球磨混合均匀，得到浆料。调节浆料的pH值，并进行喷雾干燥处理，得到粒料；将粒料置于烧结炉中进行烧结，筛分出直径小于18μm和大于50μm的粉末，细粉和粗粉均匀混合，得到等离子物理气相沉积用稀土氧化物掺杂锆酸钆粉末。本发明在保证粉末气化效果的同时，改善细粉流动性。