一种同带光子级联半导体激光器
2022-06-02
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本发明公开了一种同带光子级联半导体激光器,衬底和制备在衬底上的半导体激光外延结构,半导体激光外延结构自衬底侧向上依次包括:N型DBR层、稀土元素掺杂层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层、氧化层、P型DBR层;N型DBR层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层、氧化层、P型DBR层构成第一激光谐振腔,N型DBR层、稀土元素掺杂层、P型DBR层构成第二激光谐振腔,第一激光谐振腔和第二激光谐振腔形成同带光子级联复合腔。本发明通过稀土元素掺杂层实现能级跃迁过程中能量的高效利用,提高发光效率,并实现窄线宽激光输出。